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廣州祿米承接實驗室空氣管道設計安裝
實驗室在使用高純氣體時存在著各類危險因素，氣瓶本身的超高壓會使氣路部件產(chǎn)生崩裂的危險，同時根據(jù)氣體性質(zhì)，又分為易燃易爆、有毒、易腐蝕等各類危險，如何安全有效的將氣體輸送到使用點，是氣路系統(tǒng)要解決的問題。采用專用減壓設備、專用輸氣管路、專用探測報警設備以及專用切斷泄壓設備等，使危險情況降到***低，或發(fā)生危險狀況時*時間報警并自動進行緊急處理。
          實驗室常用氣體：氦氣、氮氣、氬氣、乙炔、甲烷、丙烷、氫氣、空氣等
          1、供氣系統(tǒng)包括氣源集合壓力控制部分、輸氣管線部分、二次調(diào)壓分流部分與儀器連接的終端部分。供氣系統(tǒng)要求具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠。
          2、管道、閥件、管件、接頭等，如減壓器、終端壓力調(diào)節(jié)部分、截止閥、焊接接頭等所有部件均為316L不銹鋼材質(zhì)，管路采用BA級內(nèi)外拋光。
          3、具備確保輸送到儀器的氣體純度的控制措施。
          4、能滿足實驗儀器對氣體不間斷連續(xù)使用的要求，使用過程中根據(jù)不同實驗儀器工作條件對整體或局部氣體壓力、流量進行全量程調(diào)整，達到不同檢驗條件的要求。
          5、不銹鋼減壓器的選材要求承受壓力必須大于鋼瓶***大設計壓力。
          6、為保證氣密性，除了需要拆卸維護和與儀器對接的部位采用卡套連接外，其余輸氣管線部分必須全部采用全自動焊接技術焊接完成。要盡可能減少因接點引起的氣體泄漏，輸氣管路部分轉(zhuǎn)彎處應避免或盡可能減少彎頭的使用。
          7、氣瓶柜內(nèi)設置的報警系統(tǒng)應能對室內(nèi)的可燃氣體及大氣氧含量進行實時檢測，并設置聯(lián)動機制。
          8、設置鋼瓶、管線等安全保護措施。
          9、氣源部分由鋼瓶和氣體發(fā)生器供給，確保氣體純度，必須具備輸出的穩(wěn)定性和連續(xù)性。
         10、不銹鋼減壓器必須具備輸出穩(wěn)定性和連續(xù)性，高壓金屬軟管連接鋼瓶必須保證氣密性。
         11、氣體終端壓力調(diào)節(jié)部分：對主氣路輸送的氣體應獨立控制，進氣壓力和出氣壓力顯示，按照不同分析儀器對氣體使用壓力的不同要求進行二次調(diào)壓，必須保證對實驗室分析儀器有穩(wěn)定的供氣氣流，設置中斷轉(zhuǎn)換方便不同儀器對接。

 

氣體種類劃分：
    （1）易燃性氣體：把自燃、易燃、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，當環(huán)境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃。可燃易燃氣體都有一定的著火燃燒爆炸范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高，如B 2H6的爆炸上限為98%，爆炸下限為0.9%。屬于易燃氣體有H 2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

   （2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9,100×10 -9,300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術措施來控制使用這些氣體。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3，WF6等。

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成工傷事故。屬于這類的氣體有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。
（6）大宗氣體。屬于這類氣體有N2，O2，CO2等

 

 

 

 

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